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MEMS微納熱盤，即微型薄膜加熱器，是運(yùn)用介質(zhì)薄膜支撐和熱隔離，通電發(fā)熱，達(dá)到預(yù)定溫度。因此可以依據(jù)客戶要求，可以設(shè)計(jì)成不同的溫度區(qū)間，從而達(dá)到客戶的實(shí)際產(chǎn)品需求。

寬溫區(qū)微納熱盤：

1. 300℃低溫區(qū)熱盤

2. 500℃中高溫區(qū)熱盤

3. 800℃以上高溫區(qū)熱盤

其特性優(yōu)勢(shì)為加熱功耗較低，熱量損耗小，響應(yīng)時(shí)間快，易同其它微電子器件集成。其廣泛運(yùn)用于氣體傳感器，微熱量計(jì)，氣體流量計(jì)，紅外光源等產(chǎn)品。